0119 AI光通信を支える6インチInPウエハ量産技術の進展
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英国の装置メーカーであるOxford Instruments（牛津儀器、OXIG）は、化合物半導体向けプラズマ加工装置の主要サプライヤーであり、Coherent社が進める業界初の全自動6インチInP（リン化インジウム）ウエハによる光子デバイス製造技術の開発を支援する重要な役割を担っている。Coherent社は米国テキサス州シャーマンおよびスウェーデンのヤルフェラにあるウエハ工場でこの技術を導入し、AIデータセンター、通信、センサー分野の発展を支える計画である。
AIデータセンターや高速通信の需要拡大に伴い、光通信向けデバイスの生産能力強化が重要となっている。Oxford Instrumentsは、Coherent社が推進する世界初の全自動6インチInPウエハ製造ラインの構築を装置面で支援している。プラズマ加工装置などの先進プロセスにより、1枚のウエハ当たりのデバイス数は従来の4倍以上となり、生産コスト削減と高スループット化が実現する。これにより800Gから1.6Tクラスの光トランシーバへ対応し、AIインターコネクトや光通信インフラの拡大を支える。
また、InPデバイス製造ではMBEとMOCVDが主要なエピ成長技術であり、大量生産では高速で拡張性の高いMOCVDが主流となる。6インチウエハへの大型化は、最大60%以上のコスト削減と生産能力向上を可能にする一方、膜厚均一性、ウエハ反り、欠陥増加、温度・ガス制御などの課題もある。今後、AI通信、6G、車載センシングなどの分野でInPフォトニクスの重要性はさらに高まり、産業連携と研究開発が技術拡大の鍵となる。